Информация об авторе
Ageichenkov, D. G.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 68, № 10 (2023) | ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ В ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ | Поток положительных ионов кислорода с высокой энергией из плазмы на подложку в импульсном магнетронном разряде с горячей мишенью |