Исследование функции распределения электронов по скоростям в слабоионизированной ВЧ-плазме

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Одной из наиболее важных характеристик низкотемпературной плазмы является функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) или же по скоростям. В работе рассмотрено влияние электромагнитного поля на значения функции распределения электронов по скоростям (ФРЭС) при давлении от 13.3 до 133 Па для напряженностей электрического поля от -3000 до 3000 В/м в высокочастотном разряде со степенью ионизации 10−4−10−6. Показано, что на низких частотах ВЧ-электромагнитного поля (0.44–1.76 МГц) и с уменьшением частоты соударений до 5 × 107 Гц, при увеличении напряженности по модулю до 3000 В/м отклонение ФРЭС от ФРЭС Максвелла составляет до 35%. Это оказывает существенное влияние на коэффициенты диффузии и подвижности, разница в которых может составлять до 25% в рассмотренном диапазоне параметров.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

А. Ю. Шемахин

Казанский (Приволжский) федеральный университет

Автор, ответственный за переписку.
Email: shemakhin@gmail.com
Россия, 420111, Респ. Татарстан, Казань, ул. Кремлевская, 18

Список литературы

  1. Bogaerts A. et al. // Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. 2002. V. 57. № 4. С. 609–658.
  2. Samukawa S. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2012. V. 45. №. 25. P. 253001.
  3. Chu P.K., Lu X.P. (ed.). Low temperature plasma technology: methods and applications. CRC press, 2013. 494 р.
  4. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2017. V. 50. № 32. P. 323001.
  5. Adamovich I. et al. // Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. V. 55. № 37. P. 373001.
  6. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Кашапов Н.Ф. Высокочастотная плазменно-струйная обработка материалов при пониженных давлениях. Теория и практика применения. Казань: Изд-во Казанского государственного университета, 2000.
  7. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Абуталипова Л.Н., Красина И.В. Высокочастотная плазменная обработка в динамическом вакууме капиллярно-пористых материалов: теория и практика применения. Казань: Изд-во Казан. ун-та, 2004.
  8. Абдуллин И.Ш., Желтухин В.С., Сагбиев И.Р. Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления. Казань: Изд-во Казан. гос. технол. ун-та, 2007.
  9. Абдуллин И.Ш. и др. // Химия высоких энергий. 2012. Т. 46. №. 4. С. 319–323.
  10. Гинзбург В. Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. Москва: Наука, 1967.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Зависимость частоты соударений [Гц] от давления [Па].

Скачать (90KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Функция распределения электронов по скоростям в относительных единицах при vc = 108 Гц и f = 13.56 МГц.

Скачать (276KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Функция распределения электронов по скоростям в относительных единицах при vc = 5 × 107 Гц и f = 1.76 МГц.

Скачать (275KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Функция распределения электронов по скоростям в относительных единицах при vc = 109 Гц и f = 13.56 МГц.

Скачать (253KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024