Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде

В. Лисенков; Лисенков В. Ю.; М. Харьков; Харьков М. М.; Д. Колодко; Колодко Д. В.; А. Тумаркин; Тумаркин А. В.; А. Казиев; Казиев А. В.

doi:10.31857/S0033849423070070

Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде

Авторы: Лисенков В.Ю.¹, Харьков М.М.¹, Колодко Д.В.¹^,2^,3, Тумаркин А.В.¹, Казиев А.В.¹
Учреждения:
1. Национальный исследовательский ядерный университет “МИФИ”
2. Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
3. Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН
Выпуск: Том 68, № 11 (2023)
Страницы: 1117-1121
Раздел: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
URL: https://cardiosomatics.ru/0033-8494/article/view/650749
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423070070
EDN: https://elibrary.ru/WPCXHX
ID: 650749

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Исследованы режимы существования импульсного магнетронного разряда с горячей теплоизолированной кремниевой мишенью при работе в газовой смеси, содержащей кислород (Ar + O₂). Рассмотрен диапазон средней плотности мощности на мишени 60…120 Вт/см² при длительности импульсов 100…300 мкс и частоте повторения 0.5…2 кГц. Построены карты стабильных режимов работы распылительной системы. Получены и продиагностированы покрытия Si_xO_y на подложках из монокристаллического кремния при различных значениях доли кислорода в газовом потоке и различных параметрах импульсного питания магнетрона.

Список литературы

Strijckmans K., Schelfhout R., Depla D. // J. Appl. Phys. 2018. V. 124. № 24. P. 241101.
Shapovalov V.I. // Materials (Basel). 2023. V. 16. № 8. P. 3258.
Graillot-Vuillecot R., Thomann A.-L., Lecas T. et al. // Vacuum. 2022. V. 197. P. 110813.
Chodun R., Dypa M., Wicher B. et al. // Appl. Surf. Sci. 2022. V. 574. P. 151597.
Reed M.L., Fedder G.K. Handbook of Sensors and Actuators. N.Y.: Springer, 1998.
Pierce A.L., Sommakia S., Rickus J.L., Otto K.J. // J. Neurosci. Methods. 2009. V. 180. № 1. P. 106.
Cui L., Ranade A.N., Matos M.A. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2012. V. 4. № 12. P. 6587.
Prevo B.G., Hwang Y., Velev O.D. // Chem. Mater. 2005. V. 17. № 14. P. 3642.
Long L., Yang Y., Wang L. // Sol. Energy Mater. Sol. Cells. 2019. V. 197. P. 19.
Steenbeck K. // Thin Solid Films. 1985. V. 123. № 3. P. 239.
Chau R.Y., Ho W-S, Wolfe J.C., Licon D.L. et al. // Thin Solid Films. 1996. V. 287. № 1–2. P. 57.
Tumarkin A.V., Kaziev A.V., Kharkov M.M. et al. // Surf. Coatings Technol. 2016. V. 293. P. 42.
Kaziev A.V., Kolodko D.V., Tumarkin A.V. et al. // Surf. Coatings Technol. 2021. V. 409. P. 126889.
Kaziev A.V., Kolodko D.V., Sergeev N.S. // Plasma Sources Sci. Technol. 2021. V. 30. № 5. P. 055002.