Diagnostics of a high-current non-sputtering magnetron discharge in hydrogen

A. V. Kaziev; Казиев А. В.; D. V. Kolodko; Колодко Д. В.; N. S. Sazonov; Сазонов Н. С.; M. M. Kharkov; Харьков М. М.; A. V. Tumarkin; Тумаркин А. В.

doi:10.31857/S0033849424110078

Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде

Авторы: Казиев А.В.¹^,2, Колодко Д.В.¹^,2^,3, Сазонов Н.С.¹, Харьков М.М.¹, Тумаркин А.В.¹
Учреждения:
1. Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
2. Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН
3. Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Выпуск: Том 69, № 11 (2024)
Страницы: 1095-1098
Раздел: Статьи
URL: https://cardiosomatics.ru/0033-8494/article/view/684287
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849424110078
EDN: https://elibrary.ru/HOFBOQ
ID: 684287

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Проведены эксперименты по диагностике плазмы нераспыляющего разряда миллисекундной длительности в водороде при давлении ~ 1 Торр, длительности и максимальной мощности импульса соответственно около 1 мс и 80 кВт. Показано, что применение импульсных нераспыляющих режимов магнетронного разряда в легких газах позволяет получать плотную неконтрагированную плазму при отсутствии в спектрах оптического излучения линий, соответствующих частицам материала катода или анода.

Ключевые слова

нераспыляющий магнетронный разряд, дуговой разряд, водород, оптическая эмиссионная спектроскопия

Полный текст

Об авторах

А. В. Казиев

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»; Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409; Ленинский просп., 53, Москва, 119991

Д. В. Колодко

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»; Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН; Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409; Ленинский просп., 53, Москва, 119991; пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190

Н. С. Сазонов

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409

М. М. Харьков

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409

А. В. Тумаркин

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409

Список литературы

Мозгрин Д. В., Ходаченко Г. В., Фетисов И. К.// Физика плазмы. 1995. Т. 21. № 5. P. 422.
Gudmundsson J. T., Brenning N., Lundin D., Helmersson U. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2012. V. 30. № 3. P. 030801.
Ходаченко Г. В., Мозгрин Д. В., Фетисов И. К., Степанова Т. В.// Физика плазмы. 2012. Т. 38. № 1. С. 71.
Kaziev A. V. // Vacuum. 2018. V. 158. P. 191.
Sommerer T. J., Aceto S. C., Trotter J. F. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2019. V. 52. № 43. P. 435202.
Smith D. J., Sommerer T. J., Lawler J. E., Hitchon W. N. G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2021. V. 54. № 29. P. 295201.
Levko D., Raja L. L. // J. Appl. Phys. 2022. V. 132. № 24. P. 243301.

Дополнительные файлы

Доп. файлы

Действие

1. JATS XML

Скачать

2. Рис. 1. Осциллограмма развития разряда, с переходом от НРМР к дуговому разряду: 1 – напряжение разряда, 2 – ток разряда, 3 – ток, поступающий на зонд (×10³).