Процессы формирования пленок Au на подложке (100) GaAs при термическом испарении в вакууме

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Исследованы процессы формирования тонких пленок золота на поверхности подложки из арсенида галлия при испарении в вакууме. Обнаружено образование островков арсенида галлия с гексагональной структурой решетки. Обсуждается влияние условий изготовления контактов Au-GaAs на возможность их использования в приборах СВЧ.

Об авторах

Т. А. Брянцева

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190

В. Е. Любченко

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

Email: lyubch@fireras.su
пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190

И. А. Марков

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190

Ю. А. Тен

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН

пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190

Список литературы

  1. Tung R.T. // Appl. Phys. Rev. 2014. V. 1. № 1. Article No. 011304.
  2. Брянцева Т.А., Любченко В.Е., Юневич Е.О. // РЭ. 1995. Т. 40. № 8. С. 1306.
  3. Брянцева Т.А., Бобылев М.А., Лебедева З.М., Любченко Д.В. // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2012. Т. 78. № 4. С. 41.
  4. Брянцева Т.А., Любченко В.Е., Любченко Д.В. и др. // РЭ. 2023. Т 68. № 5. С. 461.
  5. Брянцева Т.А., Гуляев Ю.В., Любченко В.Е. и др. // РЭ. 2021. Т. 66. № 11. С. 1125.
  6. Mокроусов М., Зарубина О.Н. // Изв. Томского политехнического ун-та 2008. Т. 313. № 3. с. 25.
  7. Брянцева Т.А., Любченко В.Е., Любченко Д.В. др. // РЭ. 2009. Т. 54. № 5. С. 561.
  8. Любченко В.Е., Брянцева Т.А., Марков И.А. и др. // РЭ. 2016. Т. 61. № 8. С. 901.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML

© Российская академия наук, 2025