Effect of prolonged annealing on the morphology and optical properties of ZnO films produced by magnetron sputtering

V. V. Tomaev; Томаев В. В.; V. A. Polishchuk; Полищук В. А.; N. B. Leonov; Леонов Н. Б.; T. A. Vartanyan; Вартанян Т. А.

doi:10.31857/S0367676523702526

Влияние продолжительного отжига на морфологию и оптические свойства пленок ZnO, полученных магнетронным напылением

Авторы: Томаев В.В.¹^,2, Полищук В.А.³, Леонов Н.Б.⁴, Вартанян Т.А.⁴
Учреждения:
1. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)”,
2. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Санкт-Петербургский горный университет”
3. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Государственный университет морского и речного флота имени адмирала С.О. Макарова”
4. Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования “Национальный исследовательский университет ИТМО”
Выпуск: Том 87, № 10 (2023)
Страницы: 1446-1451
Раздел: Статьи
URL: https://cardiosomatics.ru/0367-6765/article/view/654586
DOI: https://doi.org/10.31857/S0367676523702526
EDN: https://elibrary.ru/KIRFEB
ID: 654586

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Изучено влияние времени отжига на структурные и оптические свойства пленок ZnO, которые сформированы из пленок Zn, полученных методом магнетронного напыления с последующим окислением в атмосфере воздуха. Термическое окисление происходило в атмосфере воздуха в течение 7 и 24 ч соответственно, в программируемой муфельной печи при T = 750°C. Обнаружено изменение структуры поверхности пленок в зависимости от времени отжига пленки Zn и материала подложки, которое проявляется в оптических свойствах пленок.

Об авторах

В. В. Томаев

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования
“Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)”,; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования
“Санкт-Петербургский горный университет”

Автор, ответственный за переписку.
Email: tvaza@mail.ru
Россия, Санкт-Петербург; Россия, Санкт-Петербург

Список литературы

Özgür Ü., Alivov Ya. I., Liu C. et al. // J. Appl. Phys. 2005. V. 98. P. 041301.
Morkoç H., Özgür Ü. Zinc oxide: fundamentals, materials and device technology. Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2009. 490 p.
Singh A., Vishwakarma H.L. // IOSR-JAP. 2014. V. 6. No. 2. Ver. II. P. 28.
Özgür Ü., Hofstetter D., Morkoç H. // Proc. IEEE. 2010. V. 98. No. 7. P. 1255.
Rashmi R.K., Deepak .P, Saurabh K.P. // Res. Develop. Mater. Sci. V. 3. No. 3. P. 265.
Ellmer K., Klein A., Rech B. Transparent conductive zinc oxide. Springer series in materials science 104. Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2008. 32 p.
Parihar V., Raja M., Paulose R. // Rev. Adv. Mater. Sci. 2018. V. 53. P. 119.
Janotti A., Van de Walle C.G. // Rep. Prog. Phys. 2009. V. 72. P. 126501.
Kulkarni S.S., Shirsat M.D. // IJARPS. 2015. V. 2. No. 1. P. 14.
Nenavathu B.P., Sharma A., Dutta R.K. // J. Water Environ. Nanotechnol. 2018. V. 3(4). P. 289.
Pranav Y.D., Kartik H.P., Kamlesh V.C. et al. // Proc. Technology. 2016. V. 23. P. 328.
Damiani L.R., Mansano R.D. // J. Phys. Conf. Ser. 2012. V. 370. Art. No. 012019.
Kuz'mina A.S., Kuz’mina M.Yu., Kuz’min M.P. // Mater. Sci. Forum Subm. 2019. V. 989. No. 10. P. 210.
Balela M.D.L., Pelicano C.M.O., Ty J.D., Yanagi H. // Opt. Quant. Electron. 2017. V. 49. No. 3. 11 p.
Hasnidawani J.N., Azlina H.N., Norita H. et al. // Proc. Chemistry. 2016. V. 19. P. 211.
Abdullach K.A., Awad S., Zaraket J., Salame C. // Energy Proc. 2017. V. 119. P. 565.
Fouad O.A., Ismail A.A., Zaki Z.I., Mohamed R.M. // Appl. Catalysis B. 2006. V. 62. P. 144.
Hassan N.K., Hashim M.R. // Sains Malaysiana. 2013. V. 42. No. 2. P. 193.
Dikovska A.Og., Atanasov P.A., Vasilev C. et al. // J. Optoelectron. Adv. Mater. 2005. V. 7. No. 3. P. 1329.
Vincze A., Bruncko J., Michalka M., Figura D. // Central Europ. J. Phys. 2007. V. 5. No. 3. P. 385.
John A., Ko H.-U., Kim D.-G., Kim J. // Cellulose. 2011. V. 18. P. 675.
Habibi R., Daryan J.T., Rashidi A.M. // J. Exper. Nanosci. 2009. V. 4. No. 1. P. 35.
Feng T.-H., Xia X.-C. // Opt. Mater. Express. 2016. V. 6. Art. No. 3735.
Kelly P.J., Arnell R.D. // Vacuum. 2000. V. 56. P. 159.
Rahman F. // Opt. Engin. 2019. V. 58(1). P. 010901.
Guan N., Dai X., Babichev A.V. et al. // Chem. Sci. 2017. V. 8. P. 7904.
Park G.C., Hwang S.M., Lee S.M. et al. // Sci. Reports. 2015. V. 5. P. 10410.
Macaluso R., Lullo G., Crupi I. et al. // Electronics. 2020. V. 9. P. 991.
Baratto C., Kumar R., Comini E. et al. // Opt. Express. 2015. V. 23. No. 15. P. 18937.
Rauwel P., Salumaa M., Aasna A. et al. // J. Nanomaterials. 2016. V. 2016. Art. No. 5320625.
Rodnyi P., Chernenko K., Klimova O. et al. // Radiat. Measurements. 2016. V. 90. P. 136.
Rodnyi P.A., Chernenko K.A., Venevtsev I.D. // Opt. Spectrosc. 2018. V. 125. No. 3. P. 372.
Janotti A., Van de Walle C.G. // Rep. Progr. Phys. 2009. V. 72. P. 126501.
Zhang M., Averseng F., Krafft J.-M. et al. // J. Phys. Chem. C. 2020. V. 124. No. 23. P. 12696.
Guo H.-L., Zhu Q., Wu X.-L. et al. // Nanoscale. 2015. V. 7. P. 7216.
Chen L., Zhai B., Huang Y.M. // Catalysts. 2020. V. 10. P. 1163.
Wang J., Xiang L., Komarneni S. // Ceram. Internat. 2018. V. 44. No. 7. P. 7357.
Kröger F.A. The chemistry of imperfect crystals. Amsterdam: North-Holland Publ. Cj., 1964.
Hauffe K., Reactionen in und an FestenStoffen, Berlin: Springer, 1955.
Moore W.L., Williams E.L. // Discuss. Faraday Soc. 1959. V. 28. P. 86.
Leonov N.B., Komissarov M.D., Parfenov P.S. et al. // Appl. Phys. A. 2022. V. 128. P. 665.
Tomaev V.V., Polischuk V.A., Vartanyan T.A. et al. // Opt. Spectrosc. 2021. V. 129. No. 9. P. 1033.