Изменение спектров комбинационного рассеяния света от поверхности титановых фольг при их фторировании

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Экспериментально изучена трансформация спектров комбинационного рассеяния света от титановых фольг при их фторировании в газовых смесях. Обнаружено, что фторирование ведет к сильному повышению интенсивности полос рассеяния от исходных компонентов нанопокрытия титановых фольг. Появляется также новая сильная полоса на 905±5 см-1 и широкий континуум с максимумом ≈1700 см-1, интенсивность которых возрастает в процессе фторирования.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

П. Б. Сергеев

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физический институт имени П.Н. Лебедева Российской академии наук»

Автор, ответственный за переписку.
Email: sergeevpb@lebedev.ru

Троицкое обособленное подразделение

Россия, Москва

Н. Н. Мельник

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Физический институт имени П.Н. Лебедева Российской академии наук»

Email: sergeevpb@lebedev.ru

Троицкое обособленное подразделение

Россия, Москва

Список литературы

  1. Хохлов В.А., Жаховский В.В., Иногамов Н.А. и др. // Письма в ЖЭТФ. 2022. Т. 115. № 9. С. 576, Khokhlov V.A., Zhakhovsky V.V., Inogamov N.A. et al. // JETP Lett. 2022. V. 115. No. 9. P. 523.
  2. Воробьев В.Л., Гильмутдинов Ф.З., Сюгаев А.В. и др. // Физ. металл. и металловед. 2020. Т. 121. № 5. С. 509, Vorob’ev V.L., Gil’mutdinov F.Z., Syugaev A.V. et al. // Phys. Metals Metallogr. V. 121. No. 5. P. 460.
  3. Комаров Д.В., Коновалов С.В., Жуков Д.В. и др. // Ползуновский вестн. 2022. № 3. С. 204.
  4. Тимченко П.Е., Фролов О.О., Тимченко Е.В. и др. // Опт. и спектроск. 2023. Т. 131. № 6. С. 728, Timchenko P.E., Frolov O.O., Timchenko E.V. et al. // Opt. Spectrosc. 2023. V. 131. No. 6. P. 684.
  5. Kiselyova E.S., Sypchenko V.S., Nikitenkov N.N. et al. // Lett. Materials. 2017. V. 7. No. 2. P. 117.
  6. Lohse B.H., Calka A., Wexler D. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. P. 114912.
  7. Mahalingam S., Edirisinghe M.J. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2008. V. 41. No. 21. Art. No. 215406.
  8. Sarycheva A., Gogotsi Y. // Chem. Mater. 2020. V. 32. P. 3480.
  9. Бронников К.А., Гладких С.А., Окотруб К.А. и др. // Квант. электрон. 2022. Т. 52. № 11. С. 1042.
  10. Popova A.D., Sheveyko A.N., Kuptsov K.A. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2023. V. 15. No. 31. P. 37274.
  11. Жирухин Д.А., Капустин Ю.И., Ваграмян Т.А. // Успехи в хим. и химич. технол. 2021. Т. 35. № 8. С. 108.
  12. Hanaor D.A.H., Sorrell C.C. // J. Mater Sci. 2011. V. 46. P. 855.
  13. Hardcastle F.D. // JAAS. 2011. V. 65. Art. No. 9.
  14. Zanatta A.R. // AIP Advances. 2017. V. 7. Art. No. 075201.
  15. Surmacki J., Wronski P., Szadkowska-Nicze M., Abramczyk H. // Chem. Phys. Lett. 2013. V. 566. P. 54.
  16. Blanco-Pinzon C., Liu Z., Voisey K. et al. // Corros. Sci. 2005. V. 47. P. 1251.
  17. Sergeev P.B. // J. Russ. Laser Res. 1993. V. 14. No. 4. P. 237.
  18. Бодакин Л.В., Гусаков А.И., Комаров О.В. и др. // ЖТФ. 2016. Т. 86. № 9. С. 122, Bodakin L.V., Gusakov A.I., Komarov O.V. et al. // Tech. Phys. 2016. V. 61. No. 9. P. 1404.
  19. Egorov I., Smolyanskiy E., Poloskov A., Serebrennikov M. // Vacuum. 2022. V. 199. Art. No. 110921.
  20. Сергеев П.Б., Морозов Н.В. // Опт. и спектроск. 2019. Т. 126. № 3. С. 280, Sergeev P.B., Morozov N.V. // Opt. Spectrosc. 2019. V. 126. No. 3. P. 200.
  21. Сергеев П.Б., Ковалец Н.П., Кожина Е.П., Бедин С.А. // Изв. РАН. Сер. физ. 2023. Т. 87. № 12. С. 1819, Sergeev P.B., Kovalets N.P., Kozhina E.P., Bedin S.A. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2023. V. 87. No. 12. P. 1890.
  22. Сергеев П.Б., Сергеев А.П., Зворыкин В.Д. // Квант. электрон. 2007. Т. 37. № 8. С. 706, Sergeev P.B., Sergeev A.P., Zvorykin V.D. // Quantum. Electron. 2007. V. 37. No. 8. P. 706.
  23. Cheng Y.H., Tay B.K., Lau S.P. et al. // J. Appl. Phys. 2002. V. 92. No. 4. P. 1845.
  24. Balachandran U., Eror N.G. // J. Solid State Chem. 1982. V. 42. P. 276.
  25. Pawar T.J., Contreras Lуpez D., Olivares Romero J.L. et al. // J. Mater Sci. 2023. V. 58. P. 6887.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Спектры КРС чистой титановой фольги (1) и фольги после облучения на воздухе электронным пучком установки ЭЛА с дозой 1 ГГр (2).

Скачать (167KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Спектры КРС порошков TiN и TiO2 с размерами частиц около 1 мкм, соответственно, до (1 и 3) и после (2 и 4) фторирования 29 сут в газовой смеси Ar/F2 при 1 атм с содержанием фтора 30 Торр.

Скачать (185KB)
Метаданные
4. Рис. 3. Спектры КРС: исходная Ti фольга после 5 суток фторирования (1), фольга с предварительным облучением ЭП с дозой 1 ГГр и фторирования 29 сут (2), одна и та же фольга, проработавшая в KrF-ЭПЛ (3 и 4, 3 — прописана на приборе с возбуждающим лазером 532 нм [21], а 4—785 нм), Ti фольга в области микрокристалла анатаза, протравлена 1 сут (5).

Скачать (222KB)
Метаданные
5. Рис. 4. Спектры КРС чистой Ti фольги в области минимального травления (1), разные участки чистой фольги после суточного травления (2 и 3), та же фольга после 5 сут травления в Ar/F2 газовой смеси (1 атм, 40 Торр F2) (4).

Скачать (249KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024