ДВУХФОТОННАЯ СТЕРЕОЛИТОГРАФИЯ – ОПТИЧЕСКАЯ НАНОЛИТОГРАФИЯ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Свободнорадикальная фотополимеризация широко используется в аддитивных технологиях и, в частности, в стереолитографии с одно- и двухфотонным инициированием полимеризации. Однофотонная стереолитография позволяет создавать объекты с разрешением ~100 мкм. Двухфотонная стереолитография, инициируемая фемтосекундным лазером ближней инфракрасной области спектра, позволяет изготавливать произвольные 3D-микроструктуры cо сверхвысоким разрешением на микро- и наномасштабном уровне (~100 нм). В обзоре рассмотрены каждый из указанных методов и механизмы одно- и двухфотонного возбуждения. Систематизированы результаты исследований последних лет, касающиеся компонентов фотополимеризующихся композиций, а также подходов к уменьшению размера элементов объектов и увеличению скорости их формирования.

Об авторах

Э. Р. Жиганшина

Институт металлоорганической химии им. Г.А. Разуваева Российской академии наук

Email: zhiganshinae@mail.ru
Россия, 603950, Нижний Новгород, ул. Тропинина, 49

М. В. Арсеньев

Институт металлоорганической химии им. Г.А. Разуваева Российской академии наук

Email: zhiganshinae@mail.ru
Россия, 603950, Нижний Новгород, ул. Тропинина, 49

С. А. Чесноков

Институт металлоорганической химии им. Г.А. Разуваева Российской академии наук

Автор, ответственный за переписку.
Email: zhiganshinae@mail.ru
Россия, 603950, Нижний Новгород, ул. Тропинина, 49

Список литературы

  1. Zakeri S., Vippola M., Levänen E. // Addit. Manuf. 2020. V. 35. № 101177.
  2. Lalatovic A., Vaniev M.A., Sidorenko N.V., Gres I.M., Dyachenko D.Yu., Makedonova Yu.A. // Dent. Mater. 2022. V. 38. № 11. P. e284.
  3. Sun Q., Fang F., Wang W., Yin J., Liu Q., Hao L., Peng Y. // J. Manuf. Process. 2023. V. 85. P. 756.
  4. Kulinowski P., Malczewski P., Pesta E., Łaszcz M., Mendyk A., Polak S., Dorożyński P. // Addit. Manuf. 2021. V. 38. № 101761.
  5. Lekurwale S., Karanwad T., Banerjee S. // Ann. 3D Print. Med. 2022. V. 6. № 100054.
  6. Koppka S., Oberleiter B., Kwinda T.I., Steimecke M., Enke D. // J. Manuf. Process. 2023. V. 93. P. 173.
  7. Man J., Blinn B., Šulák I., Kuběna I., Smaga M., Chlup Z., Kruml T., Beck T., Polák J. // Procedia Structural Integrity. 2023. V. 43. P. 203.
  8. Liverani E., Li Yu., Ascari A., Zhao X., Fortunato A. // Procedia CIRP. 2022. V. 108. P. 77.
  9. Nandhakumar R., Venkatesan K. // Mater. Today Commun. 2023. V. 35. № 105538.
  10. Travitzky N., Bonet A., Dermeik B., Fey T., Filbert-Demut I., Schlier L., Schlordt T., Greil P. // Adv. Eng. Mater. 2014. V. 16. P. 729.
  11. Kunchala P., Kappagantula K. // Mater. Design. 2018. V. 155. P. 443.
  12. Snelling D., Li Q., Meisel N., Williams C.B., Batra R.C., Druschitz A.P. // Adv. Eng. Mater. 2015. V. 17. P. 923.
  13. Mogali S.R., Yeong W.Y., Tan H.K.J., Tan G.J.S., Abrahams P.H., Zary N., Low-Beer N., Ferenczi M.A. // Anatom. Sci. Ed. 2017. V. 11. P. 54.
  14. Hola E., Topa M., Chachaj-Brekiesz A., Pilch M., Fiedor P., Galekc M., Orty J. // RSC Adv. 2020. V. 10. P. 7509.
  15. Tomal W., Świergosz T., Pilch M., Kasprzyk W., Ortyl J. // Polym. Chem. 2021. V. 12. P. 3661.
  16. Shahpasand R., Talebian A., Mishra S. // J. Clean. Prod. 2023. V. 390. 1. № 135917.
  17. Guo F., Pei J., Huang G., Hu Z., Niu Zh., Cannone Falchetto A. // J. Clean. Prod. 2023. V. 382. № 135293.
  18. Melnyk L.A., Oyewumi M.O. // Ann. 3D Print. Med. 2021. V. 4. № 100035.
  19. Kalkal A., Allawadhi P., Kumar P., Sehgal A., Verma A., Pawar K., Pradhan R., Paital B., Packirisamy G. // Sens. Int. 2022. V. 3. № 100180.
  20. Xiao J., Ji G., Zhang Y., Ma G., Mechtcherine V., Pan J., Wang L., Ding T., Duan Z., Du S. // Cem. Concr. Compos. 2021. V. 122. № 104115.
  21. Huo J., Zhang G. // Energy Rep. 2022. V. 8. P. 11052.
  22. Fang R., Wang B., Pan J., Liu J., Wang Z., Wang Q., Ling X. // Constr. Build. Mater. 2023. V. 366. № 130158.
  23. Wei Q., Ana Y., Li M., Zhang J., Yang S. // Int. J. Biol. Macromol. 2023. V. 232. № 123450.
  24. Duan J., Shao H., Liu H., Xu J., Cong M., Zhao K., Lin T. // J. Eur. Ceram. Soc. 2023. V. 43. № 6. P. 2646.
  25. Cui M., Hu N., Fang D., Sun H., Pan H., Pan W. // Int. J. Pharm. 2022. V. 618. № 121679.
  26. Cui M., Pan H., Li L., Fang D., Sun H., Qiao S., Li X., Pan W. // J. Pharm. Sci. 2021. V. 110. № 11. P. 3678.
  27. Jana S., Devi K.M., Chowdhury D.R. // Opt. Commun. 2023. V. 529. № 129111.
  28. Liao J., Ye C., Guo J., Garciamendez-Mijares C.E., Agrawal P., Kuang X., Japo J.O., Wang Z., Mu X., Li W., Ching T., Mille L.S., Zhu C., Zhang X., Gu Z., Zhang Y.S. // Mater. Today. 2022. V. 56. P. 29.
  29. Ma J., Zheng S., Zhou F., Zhu Y., Das P., Huang R., Zhang L., Wang X., Wang H., Cui Y., Wu Z.-S. // Energy Stor. Mater. 2023. V. 54. P. 304.
  30. Yuan M., Wang L., Liu X., Du X., Zhang G., Chang Y., Xia Q., Hu Q., Zhou A. // Chem. Eng. J. 2023. V. 451. № 3. P. 138686.
  31. Baten’kin M.A., Polushtaytsev Y.V., Khamaletdinova N.M., Chechet Y.V., Chesnokov S.A., Mensov S.N. // J. Polym. Res. 2017. V. 24. № 185.
  32. Rossi S., Puglisi A., Benaglia M. // Chem. Cat. Chem. 2018. V. 10. P. 1512.
  33. Wu G.H., Hsu S.H. // J. Med. Biol. Eng. 2015. V. 35. P. 285.
  34. Tamay D.G., Usal T.D., Alagoz A.S., Yucel D., Hasirci N., Hasirci V. // Front. Bioeng. Biotechnol. 2019. № 7. P. 1.
  35. Zhu W., Qu X., Zhu J., Ma X., Patel S., Liu J., Wang P., Lai C.S.E., Gou M., Xu Y., Zhang K., Chen S. // Biomaterials. 2017. V. 124. P. 106.
  36. Neiman J.A.S., Raman R., Chan V., Rhoads M.G., Raredon M.S.B., Velazquez J.J., Dyer R.L., Bashir R., Hammond P.T., Griffith L.G. // Biotechnol. Bioeng. 2015. V. 112. № 4. P. 777.
  37. Form 2 – The most advanced desktop 3D printer ever created [Электронный ресурс] // Formlabs. 2017. Режим доступа: https://formlabs.com/3d-printers/ form-2/[Accessed 5 June 2017].
  38. Form 2L – The most advanced desktop 3D printer ever created [Электронный ресурс] // Formlabs. 2017. Режим доступа: https://formlabs.com/3d-printers/ form-2l/[Accessed 5 June 2017].
  39. Sun H.-B., Kawata S. // Adv. Polym. Sci. 2006. V. 170. P. 169.
  40. Xu Y., Chen Y., Liu X., Xue S. // ACS Omega. 2021. V. 6. № 32. P. 20902.
  41. Müller P., Müller R., Hammer L., Barner-Kowollik C., Wegener M., Blasco E. // ACS Chem. Mater. 2019. V. 31. № 6. P. 1966.
  42. Пикулин А.В., Битюрин Н.М. // Журн. техн. физики. 2012. Т. 82. № 5. С. 120.
  43. Kawata S., Sun H.-B., Tanaka T., Takada K. // Nature. 2001. V. 412. P. 697.
  44. Maruo S., Nakamura O., Kawata S. // Opt. lett. 1997. V. 22. № 2. P. 132.
  45. Maruo S., Kawata S. // J. Microelectromech. Syst. 1998. V. 7. № 4. P. 411.
  46. Клышко Д.Н. Фотоны и нелинейная оптика. М.: Наука, 1980.
  47. Barltrop J.A., Coyle J.D. Excited States in Organic Chemistry. London; New York: Wiley, 1975.
  48. Ширшин Е.А., Якимов Б.П., Дарвин М.Е., Омельяненко Н.П., Родионов С.А., Гурфинкель Ю.И., Ладеманн Ю., Фадеев В.В., Приезжев А.В. // Успехи биол. химии. 2019. Т. 59. С. 139.
  49. Montalti M., Credi A., Prodi L., Teresa Gandolfi M. // Handbook of Photochemistry. New York: CRC Press, 2006.
  50. Calvert J.G., Pitts J.N. // Photochemistry. New York; London; Sydney: Wiley, 1965.
  51. Valeur B. // Molecular Fluorescence. Principles and application. Wiley-VCH, 2001.
  52. Gan Z., Cao Y., Evans R.A., Gu M. // Nat. Commun. 2013. V. 4. № 2061.
  53. Hageman H.J., Oosterhoff P., Overeem T., Polman R.J., van der Werf S. // Makromol. Chem. 1985. V. 186. P. 2483.
  54. Esen D.S., Arsu N., Da Silva J.P., Jockusch S., Turro N.J. // J. Polym. Sci., Polym. Chem. 2013. V. 51. P. 1865.
  55. Pappas S.P., Asmus R.A. // J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. 1982. V. 20. P. 2643.
  56. Hageman H.J., van der Maeden F.P., Janssen P.C. // Makromol. Chem. 1979. V. 180. P. 2531.
  57. Fouassier J.P., Allonas X., Lalevee J., Dietlin C. // Photochemistry and Photophysics of Polymer Materials / Ed. by N.S. Allen. Wiley, 2010.
  58. Allonas X., Lalevée J., Fouassier J.-P. // Photoinitiated Polymerization. ACS Symp. Series: Washington, 2003.
  59. Coyle J., Carless H. // Chem. Soc. Rev. 1972. V. 1. № 4. P. 465.
  60. Heine H.-G., Rosenkranz H.-J., Rudolph H. // Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1972. V. 11. № 11. P. 974.
  61. Hutchison J., Lambert M.C., Ledwith A. // Polymer. 1973. V. 14. P. 250.
  62. Kayaman N., Önen A., Yağci Y., Schnabel W. // Polym. Bull. 1994. V. 32. P. 589.
  63. Берлин А.А., Кефели Т.Я., Королев Г.В. Полиэфир-акрилаты. М.: Наука, 1967.
  64. Chesnokov S.A., Cherkasov V.K., Abakumov G.A., Mamysheva O.N., Zakharina M.Y., Shushunova N.Y., Chechet Y.V., Kuropatov V.A. // Polymer Science B. 2014. V. 56. № 1. P. 11.
  65. Begantsova Y.E., Zvagelsky R., Baranov E.V., Chubich D.A., Chechet Y.V., Kolymagin D.A., Pisarenko A.V., Vitukhnovsky A.G., Chesnokov S.A. // Eur. Polym. J. 2021. V. 145. № 110209.
  66. Shao Y., Zhao Y., Ma H., Chen M., Lian Y., Shao J. // Opt. Laser Technol. 2022. V. 151. № 108008.
  67. Jaiswal A., Rani S., Singh G.P., Saxena S., Shukla S. // Mater. Lett. 2021. V. 304. № 130642.
  68. Sanger J.C., Pauw B.R., Sturm H., Günster J. // Open Ceram. 2020. V. 4. № 100040.
  69. Zandrini T., Liaros N., Jiang L.J., Lu Y.F., Fourkas J.T., Osellame R., Baldacchini T. // Opt. Mater. Express. 2019. V. 9. № 6. P. 2601.
  70. Cumpston B.H., Ananthavel S.P., Barlow S., Dyer D.L., Ehrlich J.E., Erskine L.L., Heikal A.A., Kuebler S.M., Lee I.Y.S., McCord-Maughon D., Qin J., Röckel H., Rumi M., Wu X. L., Marder S.R., Perry J.W. // Nature. 1999. V. 398. № 6722. P. 51.
  71. He G.S., Tan L.-S., Zheng Q., Prasad P.N. // Chem. Rev. 2008. V. 108. P. 1245.
  72. Pawlicki M., Collins H.A., Denning R.G., Anderson H.L. // Angew. Chem., Int. Ed. 2009.V. 48. P. 3244.
  73. Gu J., Wang Y., Chen W.-Q., Dong X.-Z., Duan X.-M., Kawata S. // New J. Chem. 2007. V. 31. P. 63.
  74. Xing J.-F., Chen W.-Q., Dong X.-Z., Tanaka T., Fang X.-Y., Duan X.-M., Kawata S. // J. Photochem. Photobiol. A. 2007. V. 189. P. 398.
  75. Xing J.-F., Chen W.-Q., Gu J., Dong X.-Z., Takeyasu N., Tanaka T., Duan X.-M., Kawata S. // J. Mater. Chem. 2007. V. 17. P. 1433.
  76. Lu W.-E., Dong X.-Z., Chen W.-Q., Zhao Z.-S., Duan X.-M. // J. Mater. Chem. 2011. V. 21. P. 5650.
  77. Xing J.-F., Zheng M.-L., Chen W.-Q., Dong X.-Z., Takeyasu N., Tanaka T., Zhao Z.-S., Duan X.-M., Kawata S. // Phys. Chem. Chem. Phys. 2012. V. 14. P. 15785.
  78. Nazir R., Balčiūnas E., Buczyńska D., Bourquard F., Kowalska D., Gray D., Maćkowski S., Farsari M., Gryko D.T. // Macromolecules. 2015. V. 48. № 2466.
  79. Chi T., Somers P., Wilcox D.A., Schuman A.J., Iyer V., Le R., Gengler J., Ferdinandus M., Liebig C., Pan L., Xu X., Boudouris B.W. // J. Polym. Sci., Polym. Phys. 2019. V. 57. № 1462.
  80. Malinauskas M., Žukauskas A., Bičkauskaitė G., Gadonas R., Juodkazis S. // Opt. Express. 2010. V. 18. № 10209.
  81. Konstantinou G., Kakkava E., Hagelüken L., Sasikumar P.V.W., Wang J., Makowska M.G., Blugan G., Nianias N., Marone F., van Swygenhoven H., Brugger J., Psaltis D., Moser C. // Addit. Manuf. 2020. V. 35. № 101343.
  82. Wu X., Belqat M., Leuschel B., Noirbent G., Dumur F., Mougin K., Spangenberg A. // Polym. Chem. 2022. V. 13. № 20. P. 2902.
  83. Nazir R., Danilevicius P., Ciuciu A.I., Chatzinikolaidou M., Gray D., Flamigni L., Farsari M., Gryko D.T. // Chem. Mater. 2014. V. 26. № 3175.
  84. Mueller J.B., Fischer J., Mayer F., Kadic M., Wegener M. // Adv. Mater. 2014. V. 26. № 6566.
  85. Yang L., Münchinger A., Kadic M., Hahn V., Mayer F., Blasco E., Barner-Kowollik C., Wegener M. // Adv. Opt. Mater. 2019. V. 7. № 1901040.
  86. Qiu W., Hu P., Zhu J., Liu R., Li Z., Hu Z., Chen Q., Dietliker K., Liska R. // ChemPhotoChem. 2019. V. 3. № 1090.
  87. Lu W.-E., Dong X.-Z., Chen W.-Q., Zhao Z.-S., Duan X.-M. // J. Mater. Chem. 2011. V. 21. № 5650.
  88. Hu Z., Guo F., Liang H., Guo B. // Adv. Mater. Res. 2012. V. 485. № 566.
  89. Lu W.-E., Chen W.-Q., Zheng M.-L., Dong X.-Z., Zhao Z.-S., Duan X.-M. // J. Nanosci. Nanotechnol. 2013. V. 13. № 1343.
  90. Li Z., Hu P., Zhu J., Gao Y., Xiong X., Liu R. // J. Polym. Sci., Polym. Chem. 2018. V. 45. № 9. P. 1778.
  91. Zheng Y.-C., Zhao Y.-Y., Zheng M.-L., Chen S.-L., Liu J., Jin F., Dong X.-Z., Zhao Z.-S., Duan X.-M. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2019. V. 11. № 2. P. 1782.
  92. Lia S., Lu C., Wan X., Zhang S., Li J., He Z., Zhang L. // Mater. Tod. Commun. 2020. V. 24. № 101219.
  93. Yan Y.-X., Sun Y.-H., Tian L., Fan H.-H., Wang H.-Z., Wang C.-K., Tian Y.-P., Tao X.-T., Jiang M.-H. // Opt. Mater. 2007. V. 30. № 423.
  94. Malval J.-P., Achelle S., Bodiou L., Spangenberg A., Gomez L.C., Sopper O., Robin-le Guen F. // J. Mater. Chem. C. 2014. V. 2. № 7869.
  95. Begantsova Y.E., Zvagelsky R., Baranov E.V., Chubich D.A., Chechet Y.V., Kolymagin D.A., Pisarenko A.V., Vitukhnovsky A.G., Chesnokov S.A. // Eur. Polym. J. 2021. V. 145. № 110209.
  96. Cao X., Jin F., Li Y.-F., Chen W.-Q., Duan X.-M., Yang L.-M. // New J. Chem. 2009. V. 33. № 1578.
  97. Li L., Wang P., Hu Y., Lin G., Wu Y., Huang W., Zhao Q. // Spectrochim. Acta A. 2015. V. 139. № 243.
  98. Holzer B., Lunzer M., Rosspeintner A., Licari G., Tromayer M., Naumov S., Lumpi D., Horkel E., Hametner C., Ovsianikov A., Liska R., Vauthey E., Fröhlich J. // Mol. Syst. Des. Eng. 2019. V. 4. № 437.
  99. Li Z., Rosspeintner A., Hu P., Zhu G., Hu Y., Xiong X., Peng R., Wang M., Liua X., Liu R. // Polym. Chem. 2017. V. 8. № 6644.
  100. Lia S., Lua C., Wana X., Zhanga S., Lia J., Hea Z., Zhang L. // Mater. Today Commun. 2020. V. 24. № 101219.
  101. Hao F., Liu Z., Zhang M., Liu J., Zhang S., Wu J., Zhou H., Tian Y. // Spectrochim. Acta A. 2014. V. 118. P. 538.
  102. Li Z., Pucher N., Cicha K., Torgersen J., Ligon S.C., Ajami A., Husinsky W., Rosspeintner A., Vauthey E., Naumov S., Scherzer T., Stampfl J., Liska R., Stampfl J., Liska R. // Macromolecules. 2013. V. 46. № 352.
  103. Huang X., Zhang Y., Shi M., Zhanga Y., Zhao Y. // Polym. Chem. 2019. V. 10. № 2273.
  104. Wu J., Zhao Y., Li X., Shi M., Wu F., Fang X. // New J. Chem. 2006. V. 30. № 1098.
  105. Xu Y., Noirbent G., Brunel D., Ding Z., Gigmes D., Graff B., Xiao P., Dumur F., Lalev´ee J. // Dyes Pigm. 2021. V. 185. № 108900.
  106. Poocza L., Gottschaldt M., Markweg E., Hauptmann N., Hildebrand G., Pretzel D., Hartlieb M., Reichardt C., Kübel J., Schubert U.S., Mollenhauer O., Dietzek B., Liefeith K. // Adv. Eng. Mater. 2017. № 1600686.
  107. Huang X., Zhang Y., Shi M., Zhang L.-P., Zhang Y., Zhao Y. // Eur. Polym. J. 2021. V. 153. № 110505.
  108. Hu P., Zhu J., Liu R., Li Z. // J. Photopolym. Sci. Technol. 2019. V. 32. № 2. P. 257.
  109. Huang X., Wang X., Zhao Y. // Dyes Pigm. 2017. V. 141. № 413.
  110. Li Z., Torgersen J., Ajami A., Mu¨hleder S., Qin X., Husinsky W., Holnthoner W., Ovsianikov A., Stampflbe J., Liska R. // RSC Adv. 2013. V. 3. № 15939.
  111. Nazir R., Bourquard F., Balciunas E., Smolen S., Gray D., Tkachenko N.V., Farsari M., Gryko D.T. // Chem. Phys. Chem. 2015. V. 16. № 682.
  112. Nazir R., Thorsted B., Balciunas E., Mazur L., Deperasinska I., Samoc M., Brewer J., Farsari M., Gryko D.T. // J. Mater. Chem. C. 2016. V. 4. P. 167.
  113. Wloka T., Czich S., Kleinsteuber M., Moek E., Weber C., Gottschaldt M., Liefeith K., Schubert U.S. // Eur. Polym. J. 2020. V. 122. № 109295.
  114. Wu J., Shi M., Zhao Y., Wu F. // Dyes Pigm. 2008. V. 76. № 690.
  115. Zhang F., Hu Q., Castañon A., He Y., Liu Y., Paul B.T., Tuck C.J., Hague R.J.M., Wildman R.D. // Addit. Manuf. 2017. V. 16. P. 20.
  116. Zhiganshina E.R., Arsenyev M.V., Chubich D.A., Kolymagin D.A., Pisarenko A.V., Burkatovsky D.S., Bara-nov E.V., Vitukhnovsky A.G., Lobanov A.N., Matital R.P., Aleynik D.Ya., Chesnokov S.A. // Eur. Polym. J. 2022. V. 162. № 110917.
  117. Xue J., Zhao Y., Wu F. // J. Phys. Chem. A. 2010. V. 114. № 5171.
  118. Xue J., Zhao Y., Wu J., Wu F. // J. Photochem. Photobiol. A. 2008. V. 195. № 261.
  119. Жиганшина Э.Р., Арсеньев М.В., Колымагин Д.А., Батенькин М.А., Чесноков С.А., Витухновский А.Г. // Химия высоких энергий. 2022. Т. 56. № 5. С. 308.
  120. Baldacchini T. // Three-dimensional Microfabrication Using Two-photon Polymerization: Fundamentals, Technology and Applications. 1st Ed., 2015.
  121. Zhang S., Li S., Wan X., Ma J., Li N., Li J., Yin Q. // Addit. Manuf. 2021. V. 47. № 102358.
  122. Tanaka T., Sun H.-B., Kawata S. // Appl. Phys. Lett. 2002. V. 80. № 2. P. 312.
  123. Fischer J., Wegener M. // Laser Photonics Rev. 2012. V. 7. № 1. P. 22.
  124. Fischer J., Wegener M. // Opt. Mater. Exp. 2011. V. 1. № 4. P. 614.
  125. Wollhofen R., Katzmann J., Hrelescu C., Jacak J., Klar T.A. // Opt. Exp. 2013. V. 21. № 9. P. 10831.
  126. Decker C., Jenkins A.D. // Macromoeculesl. 1985. V. 18. № 6. P. 1241.
  127. Scott T.F., Kowalski B.A., Sullivan A.C., Bowman C.N., McLeod R.R. // Science. 2009. V. 324. P. 913.
  128. de Beer M.P., van der Laan H.L., Cole M.A., Whelan R.J., Burns M.A., Scott T.F. // Sci. Adv. 2019. V. 5. № 1. P. eaau8723.
  129. Wang X., Zhu J., Zhou D., Zhu X. // Polymer. 2005. V. 46. P. 3515.
  130. Berdzinski S., Strehmel B., Strehmel V. // Photochem. Photobiol. Sci. 2015. V. 14. P. 714.
  131. Gan Z., Cao Y., Evans R.A., Gu M. // Nat. Commun. 2013. V. 4. № 2061.
  132. Harinarayana V., Shin Y.C. // Opt. Laser Technol. 2021. V. 142. № 107180.
  133. Purtov J., Rogin P., Verch A., Johansen V.E., Hensel R. // Nanomater. 2019. V. 9. № 1495.
  134. Liao C., Wuethrich A., Trau M. // Appl. Mater. Today. 2020. V. 19. № 100635.
  135. Abrashitova K.A., Bessonov V.O., Kokareva N.G., Petrov A.K., Safronov K.R., Fedyanin A.A., Barannikov A.A., Ershov P.A., Snigirev A.A., Yunkin V.A. Pat. 2 692 405 C2. Russia. 2018.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2.

Скачать (238KB)
Метаданные
3.

Скачать (199KB)
Метаданные
4.

Скачать (260KB)
Метаданные
5.

Скачать (69KB)
Метаданные
6.

Скачать (99KB)
Метаданные
7.

Скачать (35KB)
Метаданные
8.

Скачать (19KB)
Метаданные
9.

Скачать (57KB)
Метаданные
10.

Скачать (69KB)
Метаданные
11.

Скачать (19KB)
Метаданные
12.

Скачать (17KB)
Метаданные
13.

Скачать (13KB)
Метаданные
14.

Скачать (14KB)
Метаданные
15.

Скачать (15KB)
Метаданные
16.

Скачать (16KB)
Метаданные
17.

Скачать (15KB)
Метаданные
18.

Скачать (22KB)
Метаданные
19.

Скачать (22KB)
Метаданные
20.

Скачать (21KB)
Метаданные
21.

Скачать (19KB)
Метаданные
22.

Скачать (18KB)
Метаданные
23.

Скачать (21KB)
Метаданные
24.

Скачать (18KB)
Метаданные
25.

Скачать (12KB)
Метаданные
26.

Скачать (17KB)
Метаданные
27.

Скачать (18KB)
Метаданные
28.

Скачать (13KB)
Метаданные
29.

Скачать (14KB)
Метаданные
30.

Скачать (11KB)
Метаданные
31.

Скачать (19KB)
Метаданные
32.

Скачать (20KB)
Метаданные
33.

Скачать (24KB)
Метаданные
34.

Скачать (18KB)
Метаданные
35.

Скачать (25KB)
Метаданные
36.

Скачать (14KB)
Метаданные
37.

Скачать (16KB)
Метаданные
38.

Скачать (145KB)
Метаданные
39.

Скачать (70KB)
Метаданные
40.

Скачать (26KB)
Метаданные
41.

Скачать (59KB)
Метаданные
42.

Скачать (242KB)
Метаданные
43.

Скачать (368KB)
Метаданные

© Э.Р. Жиганшина, М.В. Арсеньев, С.А. Чесноков, 2023